Präparationslabor

Allgemeine Information

Im Präparationslabor des MSZs werden Festkörper jeglicher Art für die mikrostrukturellen Untersuchungsmethoden vorbereitet. Die wichtigste Präparationsmethodiken sind folgende:

Herstellung elektronentransparenter Folien (Dicke kleiner 0,2 µm) aus kompakten Proben mittels mechanischer Dünnung und Ionenenddünnung
Herstellung elektronentransparenter Querschnittpräparate aus Halbleiterstrukturen, Festkörpern und Schichtstrukturen mittels mechanischer Verfahren und Ionenenddünung
Anfertigung von TEM-Trägerfilmpräparaten aus nanokristallinen Pulvern und Suspensionen

Während der Erarbeitung von Bachelor- bzw. der Masterarbeit können unsere Studenten die Proben für die bevorstehenden TEM- bzw. TEM-KL-Untersuchengen selbstständig präparieren.

Präparationsgeräte

Diamantdrahtsäge von Well, Typ 3242 und Typ 3500
Ultraschallkernbohrer, Typ SoniCut 380
Minimet 1000 der Firma Bühler
MetPrep 3 von Allied High Tech Products
Dimple grinder der Firma Gatan, Modell 656
Ionenpoliersystem PIPS der Firma Gatan, Modell 691 mit und ohne Kühlung
Sputtercoater, SCD 050 der Firma Balzers
Sputetercoater SC7620 mit Kohlefadenverdampfungsmodul, Firma Quorum Technologies
Plasma Cleaner der Firma Binder-Labortechnik
optisches Mikroskop Nikon EPIPHOT
Bildakquirierungssystem ZEN von Zeiss
Oberflächenprofiler Tencor P-10