FIB Scios2
FIB ThermoFisher Scios 2: Frontansicht
Blick ins FIB-Labor
Schematischer Aufbau des Gerätes
Wechselwirkung der Ga-Ionen mit dem Festkörper
Schematischer Vorgang einer Platinabscheidung
Detektoren des FIB-Gerätes
Everhart-Thornley Detektor: detektiert Sekundärelektronen und Rückstreuelektronen bei e-beam und i-beam Modus
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Trinity Detektoren: befinden sich |
STEM Detektor: Halbleiter-Diode montiert auf einem |
