Oberflächenprofiler

Zur Messung von Oberflächenprofil von homogenen Proben bzw. epitaktischen Schichten steht in dem MSZ ein Oberflächenprofil-Messgerät Tencor P-10 zur Verfügung.

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Technische Daten:

Substratgröße bis 200 mm
Kraft der Diamantspitze 0.05 bis 50 mg
Kraft-Auflösung 0.05 mg
Scanlänge bis 150 mm
Scangeschwindigkeit 1 µm/sec bis 25 mm/sec
Sampling Raten 50, 100, 200, 500, 1000 Hz
Messbare Stufenhöhe:
   bei 0.008 Å Auflösung ± 6.5 µm
   bei 0.8 Å Auflösung ± 65 µm
   bei 0.6 Å Auflösung ± 1000 µm
Horizontale Auflösung 0.01 µm bei Scan-Geschw 1 µm/sec
Winkel-Auflösung 0.001°

Mit Hilfe des Gerätes können hochsensitive Messungen von Rauhigkeit, Welligkeit, Stufenhöhe, und anderen Oberflächenparametern durchgeführt werden. Eine Serie von Messungen kann in einer 3D-Topographie dargestellt werden.

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