Unsere Labore
In den Labors des Mikrostrukturzentrums an der Fakultät für Naturwissenschaften steht unseren Mitarbeitern und Studenten ein umfangreiches Spektrum an Geräten und Messmethoden zur Verfügung, die auf die Charakterisierung optoelektronischer und struktureller Halbleitereigenschaften sowie die Struktur-Eigenschafts-Beziehungen an Konstruktionswerkstoffen ausgerichtet sind:
- Raster-Eletronen-Mikroskopie REM
- HITACHI S-4800 Feldemissions-REM ausgerüstet mit2 SE-Detektoren, YAG-BE-Detektor, TE-Detektor, EDAX-EDX-Detektor
- JEOL JSM 5410 mit thermischen Wolfram-Emitter ausgerüstet mit SE-Detektor, Halbleiter-BE-Detektor, EDAX-EDX-Detektor
Untersucht werden vorwiegend Proben, die den Forschungsprofilen der Abteilungen Festkörperphysik und Halbleiterepitaxie sowie Materialphysik zuzuordnen sind.
- Transmissions-Elektronen-Mikroskopie TEM
- FEI CM-200 mit EDAX-EDX-Detektor und CCD-Kamera keen view mit Bildakquirierungssystem analySISPro
- Tecnai F20 mit Kathodolumineszenzsystem MonoCL4 von Gatan
- Kathodoluminenszenzmikroskopie CL/CLI/CLWI
- gestützt auf ein CL-System am JEOL JSM 6400
- geeignet zur lateral und spektral hochaufgelösten Messung von CL-Maps sowie hoch-zeitaufgelösten CL-Verläufen
- Raster-Tunnel- / Raster-Kraft-Mikroskopie
- im Ultrahochvakuum (UHV) in Verbindung mit einer Oberfächenanalytik
- an Luft mit einem kombinierten STM-AFM-System der Fa. DME - Danish Micro Engineering
- an Luft in Verbindung mit einem Raster-Kapazitäts-Mikroskop
- TEM-Präparationslabor
- Diamantdrahtsäge von Well, Typ 3242
- Ultraschallkernbohrer, Typ SoniCut 380
- Minimet 1000 der Firma Bühler
- Dimple grinder der Firma Gatan, Modell 656
- Ionenpoliersystem PIPS der Firma Gatan, Modell 691
- Ionenpoliersystem RES 010 der Firma BAL-TEC
- Sputtercoater, SCD 050 der Firma Balzers
- Gefriertrockner der Firma Edwards
- Plasma Cleaner der Firma Binder-Labortechnik
- Hochvakuum-Kohlebedampfungsanlage MED 020 der Firma BAL-TEC
- Labor für Bildauswertung
- optisches Mikroskop Nikon EPIPHOT
- Bildakquirierungssystem analySISPro